Аналіз методів визначення теплопровідності тонких плівок - Галущак, М. О.; Ральченко, В. Г.; Фреїк, Д. М.; Ткачук, А. І. (METHODS AND DEVICES OF QUALITY CONTROL, 2012)
Представлено аналіз абсолютного, 3ω- і флеш-методу, що використовуються для вимірювання теплопровідності тонких плівок. Наведено схеми і характеристики методів, дано ряд відомих теоретичних та емпіричних формул для обрахунку теплопровідності. В абсолютному методі для вимірювання теплопровідності використовують допоміжний провідний шар S-подібної форми, який нагрівають електричним струмом. У 3ω-методі використовують змінний струм двох різних частот, який нагріває металеву смужку-нагрівач нанесену на досліджувану тонку плівку. За виміряними значеннями напруг та геометричним розмірами і опором смужки-нагрівача визначають коефіцієнт теплопровідності тонкоплівкової структури. Лазерний флеш-метод грунтується на вимірюванні часу поширення теплової хвилі, створеної лазерним імпульсом від однієї сторони плівки до протилежної. Використовуючи теорію, яка ґрунтується на одномірній моделі поширення тепла у напівобмеженому тілі, та за умов відносно невеликого нагрівання, можна визначити коефіцієнт теплопровідності досліджуваного зразка.